




實(shí)驗(yàn)室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。
3、易1燃?xì)怏w,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.5M;交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨(dú)的閥門隔離,以方便對過濾裝置進(jìn)行維修。
5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。
6、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑,設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。艾明坷科技有限公司專業(yè)致力于手套箱、溶劑凈化等行業(yè)技術(shù)服務(wù),艾明坷竭誠為您服務(wù)。
特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
針對過去使用中存在的問題,現(xiàn)代試驗(yàn)室對載氣的使用環(huán)境進(jìn)行了改革,即 “集中供氣系統(tǒng)”,即將使用氣體(以下簡稱載氣)集中貯存,然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點(diǎn)。其優(yōu)點(diǎn)主要有以下幾點(diǎn):
1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗(yàn)室相對獨(dú)立的房間,如果與試驗(yàn)室在同一大樓內(nèi),則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨(dú)立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會(huì)發(fā)生直接傷害。2、經(jīng)濟(jì)性:建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗(yàn)室空間,更換氣瓶時(shí)不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。
2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個(gè)氣瓶間中與助燃?xì)怏w分開存貯。
3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個(gè)出口統(tǒng)一減壓后運(yùn)送氣體至使用點(diǎn)。因?yàn)闅馄块g是相對獨(dú)立的,整個(gè)氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險(xiǎn)縮小至氣瓶間內(nèi),可對人體及儀器的傷害可降到1低。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
氦質(zhì)譜檢漏儀
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個(gè)行業(yè),綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大地1推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個(gè)出口統(tǒng)一減壓后運(yùn)送氣體至使用點(diǎn)。
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